製品の概要

ICP-MS(OES)用気体試料導入システム

ICP用気体試料導入装置、金属元素標準ガス発生装置、気体成分微粒子化装置、窒素添加装置を組合わせる事で様々な試料ガスをICPで直接測定可能です。組合せにより、測定可能成分が異なり、気体試料導入装置では気体中に浮遊する微粒子中金属が測定可能です。

また、気体試料導入装置にガス微粒子化装置を追加する事で、浮遊微粒子の測定に加え、気体中に含まれる、アルシン、フォスフィン、ゲルマン、シラン等のガス状成分も測定可能となります。

GED
ICP用気体試料導入装置…試料ガス中の微粒子をアルゴンガスに移動
MSGG
金属元素標準ガス発生装置…Cr,Mo,Wの金属標準ガスを発生
GPD
気体成分微粒子化装置…気体成分を微粒子化させる
N2U
キャリアガスに微量の窒素を添加し、ICPの感度を向上させる

製品の構成例

GED-01MSGG-01
浮遊微粒子の
測定
=
GED-01MSGG-01N2U-01
浮遊微粒子の
高感度測定
=+
GED-01MSGG-01GPD-01
浮遊微粒子の測定
+
気体中気体の測定
=+
GED-01MSGG-01GPD-01N2U-01
浮遊微粒子の高感度測定
+
気体中気体の高感度測定
=+

製品の仕様

最小検出量
ag(10-18g)
ガス置換率
99.9%以上
接続可能機種
全ての機種に接続可能
    サンプルガス流量
    200ml/min~
    サンプルガス圧力
    -20kPa~
    電 源
    AC100V 50/60Hz 150VA
    寸法
    250(W)×500(D)×253(H)mm
    重 量
    15.5kg