製品の概要

ガス微粒子化装置 GPD-01

ガス微粒子化装置(GPD-01)は、アルシンやフォスフィン等のガス成分を気体試料導入装置で測定する為の装置です。

気体試料中微粒子の測定は、GED-ICPシステムによって可能です。 しかし、GED-ICPシステムは気体と固体の拡散速度の違いを用いて粒子を測定する原理を用いている為、アルシンのようなガス成分をGED-ICPに導入しますと試料ガスと共に、排気され測ることができません。

ガス微粒子化装置は、アルシン等のガス成分を微粒子化装置に通す事で、アルシン等のガス成分を微粒子化し、GED-ICPシステムで測定可能になります。

分析する成分
1つの条件で測定可能な成分を全て計測。
分析時の感度
(vol.pptレベル)の超高感度測定が可能。
気体試料の容量
約2Lのガス捕集分析が可能。

製品の仕様

接続可能機種
全ての機種に接続可能
検出感度
ご使用のICPによって決定されます
ガス置換性能
99.99%以上
微粒子回収率
95%以上
アルゴンガス
使用率:2.5L/min
純度:99.995%以上
サンプルガス
流量:250ml/min
圧力:大気圧
ガス種類:不活性ガス、腐食性ガス
    電源仕様
    AC100V~230V 50/60Hz 100VA
    製品寸法
    250(W)×500(D)×253(H)mm
    製品重量
    15.5kg

測定例

アルシンの測定結果です。Vol.pptからvol.pptの幅広い領域を直線の検量線で測定可能です。前処理を必要としない事から、vol.pptという非常低い濃度においても高感度に測定可能です。環境評価、触媒反応ガス等あらゆる試料を分析できます。