特長
多成分混合ガスをN2で希釈して安全に廃棄 触媒評価装置等で排気された最高2.5L/minの多成分混合ガスを最高50L/min.のＮ2ガスで希釈して、安全に排気する為の装置です。
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識別不能なガスに対し乾式ガスメーターを使用する事でガス流量を測定し,ＭＦＣ制御により任意の流量に設定されたＮ２ガスを供給することも可能です。
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既存装置への取り付け、組込み等、特殊仕様にも対応致します。
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ユーザー様のニーズに合わせたカスタマイズが可能です。