初心者のための ガスクロ 講座番外編　第4回　フロー図 の記号について（後編）

■圧力計
ガス流路やタンク内部の圧力を表示する部品です。ボンベの2次側、減圧弁の2次側、背圧弁1次側に設置される場合が多くあります。

■フィルター(ラインフィルタ）
配管内に浮遊するダスト（ゴミ）などを捕集し、2次側にきれいなガスを供給する部品です。

■ニードルバルブ
ガスの流路を針、或いは棒状のものを上下させて開閉し、流量を変更させる部品です。1次側の圧力が一定でないと、安定した流量に制御できないので注意が必要です。

■面積式流量計
ガス流路の流量を測る部品です。 内部のフロート(浮き)の位置を目視することで流量を判断するシンプルな流量計です。

■ニードルバルブ付き面積式流量計
面積式流量計とニードルバルブが一体になった部品です。フロートの動きを見ながらツマミを回して流量を変えることができる、わかりやすい流量計です。

■マスフローセンサー(マスフローメータ)
ガス流路の流量を測る部品です。面積式流量計と比べて精度の高い流量測定が可能です。流量値を電気信号にて出力し、流量値を表示させたり、他の電気機器に流量値を送ったりできます。

■マスフローコントローラ
ガス流路の流量測定・制御する部品です。(マスフローセンサーに流量を制御する機能が付加された部品です。)流量値の電気信号出力機能や、外部からの電気信号を受け取っての流量変更など、様々な機能を持ちます。

■キャピラリー
内径の細い配管です。意図的にガス流路内に抵抗を設置したいとき、使用する場合があります。(熱交換器など、長い配管を意味する部品でも、左図を使用する場合があります。)

■ヒーター
様々な部品を加熱するためのヒーターです。多くの場合、温調器(対象部分を何度にするのか設定できる機器)と対になっています。

■ポンプ
気体や液体を送るポンプです。ポンプにもたくさんの種類が存在しますので、用途に合わせたポンプを使う必要があります。