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ガス加湿 装置 RMG-1000

Moist Gas Generator

特長

本装置は、内蔵のマスフローコントローラーにて流量を制御した原料ガスに、バブラーより加湿する方式を採用しており、加湿量はバブラー水温にて制御する装置です。

  • ドライガスラインを装置に接続するだけで容易にガスの加湿が可能です。

  • バブラー温度は水温で制御し、攪拌ポンプにより水温を均一にしているため、安定した加湿量が得られます。

  • 原料ドライガス流量は1,000L/minまで製作可能です。(但し、筐体寸法は流量仕様により異なる場合があります。)

  • 長期連続運転用として、水の自動補給機能を追加できます。(オプション)

  • 外部信号の入出力機能(オプション)により、バブラー温度配管温度、ガス流量が他装置や、パソコンなどから制御でき、データロガーなどへのデータの取り込みも容易です。

  • バブラー水位低下」「過昇温」など、自己診断機能が充実しています。

  • 接ガス、接液部材質は御指定が可能です。(標準はSUS304)

仕様と詳細

  • 電気炉への加湿ガスの供給 DRY Air 20L/minをバブリングさせて80℃露点の加湿ガスを発生させます。発生させた加湿ガスを電気炉で加熱している触媒等に供給し、加湿雰囲気にできます。

  • ワークへの加湿ガスの供給 DRY N2 2L/minをバブリングさせた加湿ガスと、DRY標準ガス(N2 バランス)を混合させて40℃露点の加湿ガスを発生させます。発生させた加湿ガスを研究用モジュール等のワークへ供給できます。

  • チャンバーへの低露点加湿ガスの供給 DRY Air 20mL/minをバブリングさせた加湿ガスと、DRY Airを混合させて-40℃露点の加湿ガスを発生させます。発生させた低露点加湿ガスをチャンバーへ供給し、静電気の発生を抑えた雰囲気下で、基板等を保管することができます。

  • 燃料電池への加湿ガスの供給 アノードガス(DRY H2 1L/minをバブリングさせた80℃露点の加湿したガス)とカソードガス(DRY Air 2.5L/minをバブリングさせた80℃露点の加湿したガス)を燃料電池へ供給できます。

  • 他社装置の加湿機構部分の置き換え 他社装置の加湿機構部分を弊社ガス加湿装置に置き換えることにより、加湿性能を向上させます。

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